非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件的制作方法

摘要

一种微电子技术领域的非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件的制作方法，其制作方法如下：制作双面套刻符号；溅射底层；甩正胶、曝光、显影；电镀底层线圈、连接导体和引脚；去光刻胶和底层；甩聚酰亚胺、固化及抛光；溅射FeCuNbCrSiB薄膜和刻蚀FeCuNbSiB薄膜；溅射底层；甩正胶、曝光、显影；电镀连接导体和引脚；去正胶和底层；甩聚酰亚胺、固化及抛光；溅射底层；甩正胶、曝光、显影；电镀顶层线圈；去光刻胶和底层；磁场退火。本发明解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题，使得微电感器件的高频性能大大提高，具有广泛的用途。