一种基于衬底集成波导重入式谐振腔的湿度传感器

摘要

一种基于衬底集成波导重入式谐振腔的湿度传感器，包含衬底集成波导重入式谐振腔和共面波导馈电线。重入式谐振腔由四块介质基板纵向叠合而成，每块介质基板的中间介质层均刻蚀有多个金属化通孔，均匀分布在谐振腔外围与馈电线的两侧。第二介质基板与第三介质基板的中间介质层均刻蚀有一块扇形凹槽，同时第二介质基板的底层金属层与第三介质基板的顶层金属层均刻蚀了一条L形长条凹槽。本发明将折叠技术应用于衬底集成波导重入式谐振腔，在保证谐振腔高品质因数的同时极大程度地缩减谐振腔的相对尺寸，同时在谐振腔强诱导电场处引入传感区域，激发谐振腔内诱导电场与湿空气介质间的强相互作用，结构紧凑、易于加工与集成。