公开/公告号CN113130343B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN202110669407.3
发明设计人 徐希锐;
申请日2021-06-17
分类号H01L21/66(20060101);B81B7/02(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人田婷
地址 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
入库时间 2022-08-23 12:33:51
机译: 多芯片模块,半导体芯片以及多芯片模块的芯片间连接测试方法
机译: 多芯片模块,半导体芯片以及多芯片模块的芯片间连接测试方法
机译: 导光芯片,该导光芯片的制造方法,发光装置封装,发光装置封装带以及制造发光装置封装的方法