一种高灵敏度低噪声加速度检测装置及方法

摘要

本发明属于加速度测量技术领域，具体涉及一种高灵敏度低噪声加速度检测装置及方法；其中加速度检测装置包括底板、保护外壳、磁屏蔽罩、平行梁振子、主永磁铁、隧道磁电阻传感元件、磁场调制部分、平行梁振子、负反馈永磁铁、负反馈线圈、支撑体和负反馈线圈支撑；是通过梁并联实现高灵敏度、利用磁场高频调制方法实现低1/f噪声和引入电磁力负反馈宽化检测范围的加速度检测装置及方法，能够实现加速度的高灵敏度、低噪声检测。