法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-06-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C02F 1/461 授权公告日:20090325 终止日期:20120404 申请日:20070404
专利权的终止
2011-06-01
文件的公告送达 IPC(主分类):C02F 1/461 收件人:唐满连 文件名称:视为未提出通知书 申请日:20070404
文件的公告送达
2009-11-11
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20091002 申请日:20070404
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
2009-03-25
授权
授权
2007-12-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-10
公开
公开
查看全部
机译: 用于等离子体处理装置的石英部件的处理方法,用于等离子体处理装置的石英部件,以及具有用于等离子体处理装置的石英部件的等离子体处理装置的安装方法
机译: 用于等离子体处理装置的石英部件的处理方法,用于等离子体处理装置的石英部件,以及具有用于等离子体处理装置的石英部件的等离子体处理装置的安装方法
机译: 用于等离子体处理装置的石英部件的处理方法,用于等离子体处理装置的石英部件,以及具有用于等离子体处理装置的石英部件的等离子体处理装置的安装方法