法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/3065 授权公告日:20070103 终止日期:20180912 申请日:20020912
专利权的终止
2007-01-03
授权
授权
2005-02-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-12-22
公开
公开
机译: 用于等离子体处理装置的石英部件的处理方法,用于等离子体处理装置的石英部件,以及具有用于等离子体处理装置的石英部件的等离子体处理装置的安装方法
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