基座安装组件、反应腔室及半导体加工设备

摘要

本发明提供了一种基座安装组件，用于将基座在腔体底壁的通孔内与所述腔体底壁固定安装；所述基座安装组件包括：连接盘和辅助件；所述辅助件的底部位于所述基座的下方；所述连接盘抵在所述腔体底壁的下表面与所述辅助件固定；所述辅助件和所述基座相接触的位置处形成有卡扣结构，所述卡扣结构用于在所述通孔内在基座的高度方向上限制所述辅助件和所述基座相对运动。本发明还提供一种反应腔室及半导体加工设备。本发明可以解决在高温工艺环境下真空密封无效的技术问题。