光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法

摘要

本发明涉及光刻胶技术领域，公开了一种光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法。本发明将衍生自含氟丙烯酸酯单体A、衍生自胆酸单体B和衍生自含脂环丙烯酸酯单体C进行共聚反应，制备光刻胶成膜树脂；该树脂制备的光刻胶不仅抗蚀刻性强，还极大的增加了吸附性和对基板的粘附性，用于193nm浸没式光刻工艺，其最佳分辨率能够达到0.13μm，且图像清晰、边缘粗糙度良好。