一种基于掩埋型硅波导的石墨烯混合等离子调制器

摘要

本发明公开了一种基于掩埋型硅波导的石墨烯混合等离子调制器，包括混合等离子波导和石墨烯三明治结构，其中混合等离子波导由两个银波导和一个掩埋型硅波导组成。调制器由6层结构构成，从上至下依次为两个银等离子波导，氧化铝隔离层，石墨烯三明治结构，氧化铝隔离层，掩埋型硅波导，二氧化硅衬底。所述石墨烯三明治结构由上单层石墨烯、中间氧化铝隔离介质和下单层石墨烯组成。以及，所述的上下单层石墨烯分别与左右金属电极接触，所述上下单层石墨烯在左右金属电极的电信号作用下实现光调制器的开启和关闭。本发明可以实现高调制深度、低传输损耗、高调制带宽的光调制，可以在集成高速全光网络中获得应用。