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公开/公告号CN113025990B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 上海铂世光半导体科技有限公司;
申请/专利号CN202110574739.3
发明设计人 王涛;魏远征;张雪梅;王箫;徐念;胡常青;赵建海;
申请日2021-05-26
分类号C23C16/27(20060101);C23C16/517(20060101);C23C16/52(20060101);
代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;
代理人汪青;周敏
地址 200000 上海市青浦区新科路303号B1
入库时间 2022-08-23 12:22:21
机译: 电感耦合等离子体化学气相沉积法制备太阳能电池的方法
机译:负脉冲高压偏压对电容耦合射频等离子体化学气相沉积法制备类金刚石碳薄膜的影响
机译:微波等离子体增强化学气相沉积法在多晶金刚石厚膜上制备纳米晶金刚石膜
机译:微波等离子体化学气相沉积法在多晶金刚石厚膜上制备纳米晶金刚石膜
机译:微波等离子体化学气相沉积法在钛6铝4钒合金颞下颌关节假体上制备纳米晶金刚石薄膜。
机译:多元醇工艺与冷等离子体耦合作为一种新型高效的纳米氢化物处理方法:以纳米Ni2H为例
机译:使用电感耦合等离子体光发射光谱法评价六种样品制备方法,用于使用电感耦合等离子体光发射光谱法测定润滑油中痕量金属的方法
机译:微波等离子体增强化学气相沉积法制备氮化硅晶体薄膜