芯片结构、成膜方法、纳米孔测序装置及应用

摘要

本申请公开了一种芯片结构、成膜方法、纳米孔测序装置及应用，该芯片结构包括：基底层和排油通道。基底层的第一表面包括第一功能膜层结构，第一功能膜层结构内包括阵列分布的结构单元，相邻的结构单元彼此连通；排油通道的第一端与第一功能膜层结构连通，排油通道限定非极性溶剂能够通过。排油通道对非极性溶剂的通透能力高，对极性溶剂的通透能力低，可以传导和排除多余的非极性溶剂。在大气压条件下，排油通道可使得非极性溶剂与极性溶剂相对分离。非极性溶剂可从含量高的区域向含量低的区域定向移动。第一功能膜层结构的相邻的结构单元彼此连通，结构单元内的非极性溶剂可渗出，并经排油通道排出，因而结构单元的薄膜层厚度均一且厚度较薄。