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公开/公告号CN109069970B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 恩特格里斯公司;
申请/专利号CN201780020564.3
发明设计人 中村有希;
申请日2017-04-03
分类号B01D46/00(20060101);B01D46/10(20060101);B01D53/04(20060101);B01D53/22(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人顾晨昕
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 12:17:26
机译: 安装在气体面板上的用于半导体制造操作的气体过滤器
机译: 安装在气体面板上的用于半导体制造工艺的气体过滤器
机译:半导体制造过程中的气体检测报警<半导体制造工艺中的各种气体测量,用于气体泄漏管理>
机译:用于半导体气体和高纯度气体的超紧凑型筒式过滤器的启动销售A全金属过滤器可以连接1/8英寸VCR与MOTT开发
机译:一种创新的气体传感器系统,由纳米碳质化学过滤器下游的敏感有机半导体构成,用于在环境中选择性检测NO_2第一部分:开发用于去除臭氧的纳米碳过滤器
机译:在Tedlar基板上制造并使用CF / sub 4 //异丁烷气体操作的气体微带检测器的某些性能
机译:表征和控制氧化物纳米颗粒以及用于半导体制造的超高纯气体传输系统中的分子污染物。
机译:金属氧化物半导体气体传感器阵列在辅助个人机器人中早期气体泄漏检测中的应用
机译:半导体气体传感器的周期性操作及其应用于易燃气体的鉴别
机译:用于硅和复合半导体制造的在线氢化物气体过程监控器。阶段1