待安装于气体面板上的用于半导体制造操作的气体过滤器

摘要

本发明揭示一种气体过滤器，其包含外壳，所述外壳包含安装部分及主要部分。所述安装部分经配置以将所述气体过滤器安装于装置的表面上。所述主要部分经配置以与所述装置的所述表面隔开而定位且从所述安装部分在水平方向上延伸。所述外壳具有入口及出口且界定所述入口与所述出口之间的流动通道。所述流动通道具有第一通道部分及第二通道部分，所述第一通道部分从所述入口延伸到所述第二通道部分，所述第二通道部分在实质上平行于所述水平方向的方向上延伸。过滤器部件定位于所述入口与所述出口之间的所述流动通道中。