一种大气压下辉光放电等离子体的产生装置

摘要

本发明公开了一种空气中大气压下辉光放电等离子体的产生装置，将两个金属圆盘电极平行固定在一个充满常压空气的腔体内，在每个电极的内表面均覆盖聚合物阻挡介质材料，并在电极与阻挡介质之间放入金属筛网，两边阻挡介质之间保持一定的空气间隙，一个电极接地，另一电极接工频交流高压电源，在适当的施加电压作用下，可以在电极之间产生辉光放电等离子体，通过腔体的一侧进气口吹入空气气流，可以在另一侧出气口将放电等离子体引出。本发明利用介质阻挡放电的形式实现常压空气中工频电压作用下的均匀辉光放电等离子体，实现简单，成本低，可靠性高，可用于材料改性、废气处理、臭氧合成及放电光源等等离子体物理和化学领域。