太赫兹波长共光路干涉法测量装置

摘要

本发明涉及光学计量技术领域，所述测量装置具有一迈克尔逊干涉法太赫兹波长测量光学系统，且该系统具有一支撑平台，在该支撑平台上配置有太赫兹探测器、激光探测器、太赫兹源、激光器、90°离轴抛物面镜、光阑、扩束镜、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和移动平台。通过防摔装置的设置，当工作模块意外倾倒时，倾倒方向一侧的防摔区启动，将缓冲装置快速张开形成防护，过程短，速度快，防护面积大，因而，防护效果有保证，避免将此类精密装置损坏，而带来高成本的维护。