公开/公告号CN100451169C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院兰州化学物理研究所;
申请/专利号CN200410092069.8
申请日2004-11-01
分类号C23C28/00(20060101);
代理机构62002 兰州中科华西专利代理有限公司;
代理人方晓佳
地址 730000 甘肃省兰州市城关区天水路342号
入库时间 2022-08-23 09:01:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-12-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 28/00 授权公告日:20090114 终止日期:20131101 申请日:20041101
专利权的终止
2009-01-14
授权
授权
2006-07-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-05-10
公开
公开
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