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一种扩大单晶金刚石籽晶尺寸及数量的方法

摘要

本发明为一种扩大单晶金刚石籽晶尺寸及数量的方法,解决了大尺寸金刚石单晶制备技术难度高的问题。本发明采用取向为(100)的单晶金刚石作为籽晶,首先通过一次沉积将单晶金刚石生长为方形,然后沿对角线切割为两个等腰三角柱体,将切割面抛光后作为生长面进行二次沉积,使金刚石沿垂直切割面方向生长,再沿新生长的方形对角线和底部再次切割,形成两个大等腰三角柱体和一个原始小等腰三角柱体,将获得的大等腰三角柱体的切割面抛光后作为生长面进行三次沉积生长,最后沿切割面垂直方向切割,即可获得多片取向为(100)、尺寸扩大多倍的金刚石籽晶。本发明方法操作简单,能够快速的同时增大单晶金刚石的尺寸及数量。

著录项

  • 公开/公告号CN111690981B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 太原理工大学;

    申请/专利号CN202010719505.9

  • 申请日2020-07-23

  • 分类号C30B25/20(20060101);C30B29/04(20060101);

  • 代理机构14111 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张宏

  • 地址 030024 山西省太原市迎泽西大街79号

  • 入库时间 2022-08-23 12:14:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-08-23

    专利权的转移 IPC(主分类):C30B25/20 专利号:ZL2020107195059 登记生效日:20220810 变更事项:专利权人 变更前权利人:太原理工大学 变更后权利人:山西国脉金晶碳基半导体材料产业研究院有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:030024 山西省太原市迎泽西大街79号 变更后权利人:048026 山西省晋城市晋城经济技术开发区兰花路1060号(康廉贸易办公楼501室)

    专利申请权、专利权的转移

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