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一种墨水的快速制备方法、薄膜的制备方法和氧化物薄膜晶体管的制备方法

摘要

本发明提供了一种墨水的快速制备方法、薄膜的制备方法和氧化物薄膜晶体管的制备方法,属于薄膜晶体管技术领域。本发明提供的墨水的快速制备方法,包括如下步骤:将金属盐原料、有机溶剂和稳定剂混合,得到原料混合液;所述有机溶剂为醇醚类溶剂或醇类溶剂;将超声波变幅杆浸入原料混合液中,超声处理5~20min,得到墨水。本发明使用超声波变幅杆进行超声处理,可使金属盐原料在室温下短时间内完成醇解反应,极大程度缩短了墨水的制备时间,提高了墨水的制备效率,克服了水浴法高温长时间的缺点,将本发明所制备的墨水制备成薄膜后,其性能与水浴法所得薄膜相当或更好。此外,本发明所提供的制备方法工艺简单,易于操作,适合工业化应用。

著录项

  • 公开/公告号CN111171625B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海大学;

    申请/专利号CN202010009764.2

  • 申请日2020-01-06

  • 分类号C09D11/03(20140101);C09D11/033(20140101);C09D11/38(20140101);C09D11/36(20140101);H01L21/02(20060101);H01L21/34(20060101);

  • 代理机构11569 北京高沃律师事务所;

  • 代理人刘潇

  • 地址 200444 上海市宝山区上大路99号

  • 入库时间 2022-08-23 12:13:11

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