公开/公告号CN111171625B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 上海大学;
申请/专利号CN202010009764.2
申请日2020-01-06
分类号C09D11/03(20140101);C09D11/033(20140101);C09D11/38(20140101);C09D11/36(20140101);H01L21/02(20060101);H01L21/34(20060101);
代理机构11569 北京高沃律师事务所;
代理人刘潇
地址 200444 上海市宝山区上大路99号
入库时间 2022-08-23 12:13:11
机译: 薄膜晶体管的制备方法,薄膜晶体管驱动的后面板的制备方法,薄膜晶体管驱动的后面板的制备方法
机译: 氧化物薄膜晶体管的制备方法及使用该方法制备的氧化物薄膜晶体管
机译: 氧化物薄膜晶体管的制备方法及使用该方法制备的氧化物薄膜晶体管