公开/公告号CN110101106B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州安脉盛智能技术有限公司;
申请/专利号CN201910469155.2
申请日2019-05-31
分类号A24B3/04(20060101);A24B3/06(20060101);A24B9/00(20060101);G05B13/04(20060101);
代理机构33289 杭州裕阳联合专利代理有限公司;
代理人姚宇吉
地址 310000 浙江省杭州市滨江区西兴街道阡陌路482号B楼第十七层
入库时间 2022-08-23 12:08:37
机译: 基于二次电子显微镜和聚焦离子束系统的半导体制造过程的前馈和反馈控制
机译: 基于二次电子显微镜和聚焦离子束系统的半导体制造过程的前馈和反馈控制
机译: 基于反馈的运输过程中的载荷控制方法和系统