一种扫描电镜的半导体纳米线光致发光特性原位表征系统

摘要

本发明涉及一种光学特性原位表征系统，尤其涉及一种在扫描电子显微镜中应用的半导体纳米线光致发光特性原位表征系统。在狭小的扫描电镜真空腔内部嵌入了节省空间的激光激励光纤和荧光检测光纤，并通过光纤适配器稳定地固定在纳米定位平台上，实现半导体纳米线光致发光特性原位表征。本发明优点在于：适配器前端弯曲金属管具有0‑90度可调的弯曲角度，可以满足不同的激光照射角度和荧光检测角度需求。同时纳米定位平台可以为光纤提供纳米级定位精度，支持光致发光特性原位表征。空气/真空连接端口保证了光信号在空气和真空之间的有效传输。系统高度集成纳米线光学表征器件、高效、适用性广，可应用于不同种类的半导体纳米线。