基板排列装置以及基板排列方法

摘要

基板排列装置的基板对准机构，将第一基板组和第二基板组沿周向旋转并确定周向的朝向。保持部升降机构将第一基板组的多个第一基板，以与多个第二基板正面背面相反的朝向，分别配置在第二基板组的多个第二基板之间。第一基板组和第二基板组的各基板在第一径向上以最小曲率向厚度方向的一侧弯曲，在与第一径向正交的第二径向上以最大曲率向厚度方向的上述一侧弯曲。分别配置在多个第二基板之间的多个第一基板的第一径向与多个第二基板的第一径向大致正交。由此，在交替排列的多个第一基板和多个第二基板中，能够提高沿排列方向相邻的基板之间的排列方向的距离的上下方向上的均匀性。