双定子电磁悬浮转子微转动陀螺

摘要

一种双定子电磁悬浮转子微转动陀螺，属于微机电系统技术领域。本发明包括：上基体、上定子、微转子、下定子、下基体、密封圈。微转子是一种导电圆环。上、下基体上采用光刻电镀方法制作的悬浮稳定线圈，传感电极，以及旋转线圈。除了在下定子上有微转子限位柱外，上定子的结构和下定子完全相同。激光加工方法制作的环形微转子采用导电性能好的材料制作而成。本发明提出的电磁悬浮转子微转动陀螺中引入了双定子结构，这种结构能增加微转子的旋转扭矩以及整个微陀螺系统的抗冲击能力，从而能提高的测量精度，推广微陀螺的应用领域。