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基于有机晶体管氨气传感器芯片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于有机晶体管氨气传感器芯片,传感器芯片从下到上依次为衬底、栅电极、介电层、半导体层、源电极和漏电极,所述介电层为明胶这种天然生物材料,所述半导体层为三明治结构,其中三明治结构的夹心层为明胶与金属离子的混合物,本发明利用明胶这种天然无毒且含量丰富的生物材料,有效杜绝了有毒试剂的使用,同时由于明胶杰出的介电特性,使得有机晶体管氨气传感器芯片实现了低电压驱动,同时由于生物材料中所含的大量的极化基团,提升了有机场效应管的氨气传感响应,同时三明治结构中明胶与金属离子作为夹心层,实现器件对氨气的高稳定性高灵敏高响应探测,可用于氨气传感器中。

著录项

  • 公开/公告号CN109828015B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏友润微电子有限公司;

    申请/专利号CN201910170795.3

  • 申请日2019-03-07

  • 分类号G01N27/414(20060101);

  • 代理机构32102 南京苏科专利代理有限责任公司;

  • 代理人陈栋智

  • 地址 225000 江苏省扬州市邗江区西湖镇甘泉生态科技园1号楼

  • 入库时间 2022-08-23 12:05:09

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