石英谐振子超精密加工方法及装置

摘要

本发明属于机械加工技术领域，尤其涉及一种石英谐振子超精密加工方法及装置。首先采用普通成型方法加工出石英谐振子的外表面，然后使用专用砂轮进行粗磨、半精磨、化学机械抛光，结合先进的在线测量技术，对抛光后的表面进行检测，对超出允差范围的点位进行修抛至满足要求；采用专用夹具固定加工好的外表面，再对谐振子内表面进行成型磨削化学机械抛光及检测加工。本发明的专用夹具与砂轮的特点为中空伞状，砂轮磨削部分与被加工面形状一致，加工过程设防护装置及抛光液回收装置，可保证加工过程绿色环保，此外，本发明提供的加工方法和装置，具有加工效率高，加工同轴度好，加工表面损伤层低等优点。