公开/公告号CN112553590B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 上海征世科技股份有限公司;
申请/专利号CN202011403657.4
申请日2020-12-02
分类号C23C16/27(20060101);C23C16/02(20060101);C23C16/511(20060101);C23C18/18(20060101);C23C18/36(20060101);B22F1/02(20060101);
代理机构31312 上海邦德专利代理事务所(普通合伙);
代理人王文娟
地址 201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧
入库时间 2022-08-23 12:04:24
机译: 基于水基等离子体放电的金刚石薄膜化学气相沉积
机译: 基于水基等离子体放电的金刚石薄膜化学气相沉积
机译: 基于水基等离子体放电的金刚石薄膜化学气相沉积