一种在线检测抛光垫接触特征的试验装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种在线检测抛光垫接触特征的试验装置及其使用方法，所述的试验装置包括基座、单筒显微镜、CCD摄像机、XY两向移动工作台、蓝宝石观测窗口、固定环、配重块、运动控制系统和计算机。本发明属于一种在线检测手段，测量时只需要将装配好的蓝宝石观测窗口放置于抛光垫表面，待测量结束后移除，整个测量过程不破坏抛光垫表面结构，不影响后续的抛光工艺。本发明利用光学显微镜直接获得抛光垫的真实接触图像，试验结果更加准确可靠。本发明可以批量处理微观接触图像，并且利用图像处理软件获得实时的微观接触特征信息：包括真实接触面积率、接触点数目、接触点平均尺寸、接触点分布等，方便对后续修整工艺的指导。