一种抛光垫微观接触状态的测量装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种抛光垫微观接触状态的测量装置及其使用方法，所述的测量装置包括基座、Z向宏微复合直线运动进给装置、力传感器、蓝宝石观测窗口、两个单筒显微镜、两个CCD摄像机、两个显微镜支架、XY两向移动工作台、运动控制系统和计算机。本发明利用光学显微镜直接拍摄抛光垫的接触界面，可以获得真实的微观接触图像，结果更加准确可靠。本发明在固定抛光垫样品时，可以保证待测表面和蓝宝石玻璃表面的均匀贴合，避免了接触不均匀现象。本发明利用DIC方法，可以直接获得抛光垫在压缩过程中的位移云图，并准确得到抛光垫表面粗糙层的压缩刚度，为抛光垫微观接触状态的分析提供可靠的数据支撑。