一种基于复光束角度传感器的大型非球面形貌检测方法

摘要

本发明公开了一种基于复光束角度传感器的大型非球面形貌检测方法，包括如下步骤：步骤S1：将大型非球面工件放置在用于测量的倾斜台上，并从硬件和软件两方面消除测量误差；步骤S2：角度差的测量：使用傅里叶变换算法对大型非球面进行一次圆周扫描；步骤S3：通过角度差Δc计算轮廓P；步骤S4：大型非球面的轮廓测量。该检测方法属于非接触式的形貌测量技术，可以解决接触性检测因物理接触而造成的被测表面损伤；该检测方法有周向扫描功能，可以解决相移干涉测量法适用的测量尺度范围较小的缺点，该装置通过对不同半径的圆形扫描进行重复实验，以获得表面的整体形状，并重建大型非球面的表面形貌，可以解决莫尔测偏法测量精度较低的不足。