一种复光束角度传感器及小型非球面形貌检测方法

摘要

本发明公开了一种复光束角度传感器及小型非球面形貌检测方法，该传感器包括半导体激光器、凸透镜、第一滤光板、准直透镜、第二滤光板、分束器、柱透镜、微透镜阵列和CMOS相机。本发明基于复光束角度检测角度差的原理，实现高精度和较大动态范围形貌检测，其光路成像原理可分为两部分：1)照明部分：半导体激光器发出的激光通过第一滤光板，经准直后成为平行光，平行光再通过第二滤光板，经分束器反射、透射后，反射的光线经过柱透镜聚焦成一个光斑，再将光斑聚焦投射到小型非球面体上；2)成像部分：光线从小型非球面上反射后再次透过分束器，使光线聚集在微透镜阵列，聚焦照射到CMOS相机的像平面上，完成CMOS相机的图像采集。