用于同步辐射光源的压电驱动变形镜及其装配方法

摘要

本发明的用于同步辐射光源的压电驱动变形镜，包括底座、压电驱动器、反射镜、接电件及可调节的柔性夹具，柔性夹具固装在底座上，柔性夹具可调节松紧的夹持压电驱动器，反射镜粘接在压电驱动器远离柔性夹具的一面，接电件装设在底座上并与压电驱动器电连接。其装配方法，S1：在压电驱动器上安装接地电极和驱动电极；S2：将反射镜与压电驱动器粘接构成层结构部件；S3：将柔性夹具固装在底座上；S4：将压电驱动器与接电件电连接，再将接电件安装在底座上；S5：将层结构部件的压电驱动器安装在柔性夹具上；S6：将接电件连通电源。该变形镜结构简单、制作安装方便、变形稳定以及能够实现曲率可调以满足不同的聚焦要求，其装配方法简单且方便。