低阶像差校正的压电驱动变形镜测试与仿真优化

摘要

光纤激光器输出光束带有波前畸变,制约了光学系统的性能和工作效率.搭建实验系统分析了超连续谱光纤激光器系统输出光束的像差特性,不同波长的滤波片测试像差均以离焦为主.根据这一特点制备了3单元单层横向压电驱动变形镜样镜,并进行特性测试.变形镜影响函数有限元仿真和实测吻合度可达77％以上,一阶谐振频率12.1 kHz.以实际像差为对象进行闭环仿真,校正精度达到0.77.另外,从校正精度及行程两个方面对变形镜进行了有限元优化仿真.结果9单元变形镜(有效口径7.5 mm)校正精度达到0.9左右.镜片与压电片厚度比存在最优值约0.3,行程可提升60％以上.