栅极长度不取决于光刻法的纵向栅极CMOS

摘要

揭示了一种纵向晶体管的元件的构造，具体的说，为一CMOS晶体管的栅极(1905)、源极(1901)和漏极(1903)的配置。纵向晶体管常常用于集成电路的领域。因此，用于改进其构造的不受限于光刻法的限制的方法具有很大的效用和重要性。本领域的技术人员会明白所述方法也可以用于制造其它类型的器件。例如，利用本文所述的方法可制造一双极型晶体管的结(以及其其它类型的器件结)。