公开/公告号CN110936388B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-11
原文格式PDF
申请/专利权人 塑晟机械(嘉兴)有限公司;
申请/专利号CN201911244313.0
发明设计人 林伟;
申请日2019-12-06
分类号B25J11/00(20060101);B25J9/14(20060101);B25J15/00(20060101);
代理机构33253 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙);
代理人丁鹏
地址 314000 浙江省嘉兴市经济技术开发区云海路南、板桥港西3幢一层
入库时间 2022-08-23 11:56:35
机译: 制造用于掩膜坯的玻璃基质的方法,一种制造掩膜坯的方法,一种制造转移膜的方法以及一种制造半导体器件的方法
机译: 制造用于掩膜坯的玻璃基质的方法,一种制造掩膜坯的方法,一种制造转移膜的方法以及一种制造半导体器件的方法
机译: 制造用于掩膜坯的玻璃基质的方法,一种制造掩膜坯的方法,一种制造转移膜的方法以及一种制造方法