一种脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法

摘要

本发明公开了一种脱脂‑烧结一体式生产ITO靶材的方法，包括以下步骤：1)将ITO粉体、分散剂和水混合，进行球磨，再加入粘结剂，进行超声和真空脱泡，得到浆料；2)将浆料注入模具，进行成型，得到靶坯，脱模，对靶坯进行干燥；3)将靶坯放在脱脂‑烧结一体式炉内的承烧板上，进行程序升温和程序降温，得到ITO靶材。本发明在进行靶坯致密化的过程中，将靶坯从脱脂的最高温度直接升温进行温度更高的烧结，省略了靶坯脱脂后的冷却、转移和再升温过程，脱脂和烧结的效率显著提高，且消除了靶坯在脱脂炉和烧结炉之间转移而造成的开裂，提高了生产效益，有利于ITO靶材的大批量生产。