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ITO靶材烧结行为研究

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cqvip:本文采用氧气氛无压烧结技术制备了高密度ITO靶材,对高密度ITO靶材的烧结过程进行了研究,分析了不同烧结条件下ITO靶材的微观组织和二次相结构,探讨了高密度ITO靶材的烧结致密化机理。

著录项

来源
《材料科学》 |2019年第8期|P.749-759|共11页
作者
刘秉宁; 赵旭; 孙本双; 黄誓成; 陈杰; 朱桂胜; 赵学义; 王广欣;
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作者单位

[1]稀有金属特种材料国家重点实验室宁夏石嘴山;

[2]郑州大学河南省资源与材料工业技术研究院河南郑州;

[3]洛阳晶联光电材料有限责任公司河南洛阳;

[4]桂林电子科技大学材料科学与工程学院广西桂林;

[5]北京九州新科科技有限公司北京;

[6]河南科技大学材料科学与工程学院河南洛阳;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类陶瓷工业 ;
关键词
ITO靶材; 无压烧结 ; 致密化 ; 微观组织 ; 二次相结构;

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