一种立方氮化硼薄膜的生产方法

摘要

一种立方氮化硼薄膜的生产方法属于化学合成领域。主要是为解决目前立方氮化硼薄膜制备在薄膜的黏附性、厚度和立方相含量等方面仍存在诸多问题而发明的。采用三等离子体循环CVD法；将原料BF₃、NH₃和辅助气体Ar、H₂分别经流量计后进入静态混合器，在静态混合器中混合，形成的混合气体进入到加热器内加热，然后进入到等离子反应室，在等离子反应室内的基体上生产成立方氮化硼薄膜。根据等离子反应室出口混合气体中BF₃和NH₃的浓度，调节控制向等离子反应室内补加BF₃和NH₃的数量，以保证混合气体中的BF₃和NH₃的浓度不变。优点是所制得的薄膜对基底附着力好且经久坚固，薄膜厚度达80微米以上。