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多晶硅片制绒液、黑硅材料的制备方法及其在加速PERC电池LeTID恢复中的应用

摘要

本发明提供一种多晶硅片制绒液、黑硅材料的制备方法及其在加速PERC电池LeTID恢复中的应用。该多晶硅片制绒液包括:HF、Mn(NO3)2、聚N‑乙烯基乙酰胺和水。采用这种多晶硅片制绒液,无需在制绒前去除损伤层,可以直接将多晶硅片浸入其中进行刻蚀,在较温和的环境下实现快速制绒,刻蚀后的多晶硅片清洗去除杂质后即可用于太阳能电池的制备,使用方便、制绒时间短。本发明还提供一种黑硅材料的制备方法及其应用,该黑硅材料用于多晶硅PERC电池加工工艺时具有加速LeTID恢复的特性,能够提高电池发电效率,有利于多晶硅PERC电池的推广与应用。

著录项

  • 公开/公告号CN111040766B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院电工研究所;

    申请/专利号CN201911360376.2

  • 发明设计人 周春兰;纪方旭;王文静;

    申请日2019-12-25

  • 分类号H01L31/20(20060101);

  • 代理机构11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司;

  • 代理人宋傲男

  • 地址 100190 北京市海淀区中关村北二条6号

  • 入库时间 2022-08-23 11:50:04

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