一种基于多谐振器耦合结构的MEMS振荡器

摘要

本发明公开了一种基于多谐振器耦合结构的MEMS振荡器，MEMS振荡器包括：振荡电路，检测电路以及MEMS谐振器件，MEMS谐振器件包括：N个相互耦合的MEMS谐振器，分别记为第一谐振器、第二谐振器、……第N谐振器，第一谐振器用于确定振荡器的工作频率，其余的谐振器通过耦合实现对第一谐振器的幅度进行调控；N为大于等于2的正整数；振荡电路用于通过闭环控制实现将振荡器的输出频率始终锁定并控制在第一谐振器的谐振频率；检测电路用于检测振荡器输出信号的幅度，并进行反馈控制以防止振荡器的输出幅度过高导致振荡器系统工作异常。本发明可以解决现有技术中由于需要引入可变增益放大器，从而导致的噪声和功耗较大的问题。