具有源极结构的三维存储设备和用于形成其的方法

摘要

提供了用于形成三维(3D)存储设备的结构和方法的实施例。在一示例中，3D存储设备包括存储叠层、多个沟道结构和源极结构。存储叠层在衬底之上并且包括交错的多个导体层和多个绝缘层。多个沟道结构在存储叠层中垂直地延伸。源极结构在存储叠层中延伸。源极结构包括多个源极接触部，各源极接触部在各自的绝缘结构中，以及多个源极接触部中的两个邻近源极接触部互相导电地连接。