公开/公告号CN109458940B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第二十六研究所;
申请/专利号CN201811598067.4
申请日2018-12-26
分类号G01B11/06(20060101);
代理机构50215 重庆辉腾律师事务所;
代理人卢胜斌
地址 400060 重庆市南岸区花园路14号
入库时间 2022-08-23 11:46:46
机译: 光学膜厚测定方法,光学膜厚测定系统及光学膜厚测定程序其他
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