基于光学模拟的半球谐振子的膜厚均匀性的快速估测方法

摘要

本发明属于半球谐振陀螺仪领域，特别涉及卫星惯性导航系统中半球谐振陀螺仪谐振子金属化工艺；具体为一种基于光学模拟的半球谐振子的膜厚均匀性的快速估测方法；所述方法包括在镀膜设备的真空腔室内进行腔室测量和样品测量，并获取其参数数据；根据测量得到的参数数据，建立出镀膜腔室的以及镀膜样品的三维模型；在三维模型中，至少调整镀膜样品与靶材的相对位置，利用光学模拟获得镀膜样品即半球谐振子表面的光照参数辐照度，根据该辐照度估测出膜厚均匀性。通过采用本发明提出的方法能够有效的估测出膜厚均匀性，避免了重复试验造成的机器损耗，大大的降低了成本。