両面の膜厚測定を実現する膜厚計の特徴と適用効果＜光干渉式膜厚計 Optical NanoGauge C12562－01＞

摘要

半導体デバイス、タッチパネル、FPD、太陽電池等といったさまざまな分野の製造工程において、コスト削減·品質向上を実現させるために薄膜計測·管理は重要なファクタである。近年では、タッチパネルなどに用いる透明伝導性フイルムをはじめ各膜厚の多層化が進み、さらに同時に基材の両面に成膜されているものも増え、一概に薄膜管理と言っても複雑かつ困難なものになってきている。また膜構造が複雑になる一方で成膜の高速化も進み、より高速に薄膜計測することが求められている。従来の技術では多層膜に対応しているものの、高速化·両面解析の面で課題を抱えており、これらの課題を解決することにより高度な生産管理に貢献できると考えている。