顕微分光膜厚計OPTM: 多層膜の膜厚測定が可能な顕微分光膜厚計の特徴と適用事例

摘要

近年、フィルムやコーティングにより各種機能性を付与する薄膜技術が様々な分野で注目されている。薄膜技術の進化とともにその膜厚の管理•コントロールの要求が高まり、膜厚を測定するニーズはますます高まっている。大塚電子㈱が採用する光干渉法は光を使って測定するため非破壊•非接触で膜厚測定が可能であり、さらに他方式と比較して高速•高精度であり、また、多雇膜の各層の膜厚測定が可能である。