一种高品质因数的薄膜体声波谐振器的优选结构

摘要

本发明涉及一种高品质因数的薄膜体声波谐振器的优选结构，包括上表面带有凹槽的衬底、位于衬底上方的底电极层、压电层，其特征在于，还包括带有异形空气桥结构的顶电极层，该空气桥结构内设有可起到对横向声波回弹作用的声回弹结构；该声回弹结构为与异形空气桥结构的桥腔相向的凸形或梯形多面体并以卧式设置在异形空气桥结构的桥腔上方区域，该声回弹结构的顶端面嵌入并与异形空气桥结构的桥腔仰顶面凹槽紧贴，该声回弹结构的底端面与异形空气桥结构的桥腔下方区域悬空结构之间留有空气间隙，该声回弹结构的左侧面和右侧面分别嵌入并与异形空气桥结构的桥腔支撑结构相邻的内侧面的凹槽紧贴。本发明能够显著提升薄膜体声波谐振器的品质因数。