枚叶水平输送式之晶圆去膜清洗装置及其清洗方法

摘要

本发明公开了枚叶水平输送式之晶圆去膜清洗装置及其清洗方法，该装置包括：底座支架、原料箱、传动机构、第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽、第四清洗槽、底座和控制按钮，第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽、第四清洗槽设于底座上，第一清洗槽位于第二清洗槽后端，所述第二清洗槽位于第三清洗槽后端，第三清洗槽位于第四清洗槽后端，所述传动机构通过支架固定于底座上端，底座下端设有底座支架，原料箱设于底座上端面一侧，控制按钮设于底座上端面一侧。本发明产能大，单机生产的效率高，降低企业设备购置和维护成本，利用枚叶水平输送方式，避免了晶圆与清洗液的过于接触导致清洗液对其腐蚀的情况，提高产品的良品率。