日本屏幕制造公司45nm晶圆洗净技术将标准配备枚叶式装置

摘要

日本屏幕制造公司开发成功了45nm层叠LSI元件的晶圆洗净技术。将配备今后该公司所有的枚叶式洗净装置，将其定位于由槽式向枚叶式过渡的核心技术。该公司表示已完成了采用该技术的装置的检测。