SCREEN 200mm以下対応枚葉式洗浄装置

摘要

㈱SCREENホールデイングスグループの㈱SC REENセミコンダクターソリユーションズ(京都市上京区堀川通寺之内上る4天神北町1-1、☏075-414-7111)は、200mm以下のウエハーに対応した枚葉式洗浄装置「SP-2100」(写真)を開発し、販売を開始した。