芝浦メカトロニクス新型の枚葉式洗浄装置19nm以降に対応

摘要

300㎜シリコンウエハー用枚葉式洗浄装置(研磨後洗浄)でトップシェアを持つ芝浦メカトロニクス㈱(横浜市栄区笠間2-5-1、☎045-897-2421)は、Siウエハーの製造工程において19nm以降の超微細なパーティクルの洗浄に対応する枚葉式ウエハー洗浄装置「SC38-CC」(写真)シリーズを開発し、本格販売を開始した。