公开/公告号CN110473799B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-30
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201910849214.9
发明设计人 韩俊伟;
申请日2019-09-09
分类号H01L21/66(20060101);G01N1/28(20060101);G01N21/95(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曹廷廷
地址 201315 上海市浦东新区良腾路6号
入库时间 2022-08-23 11:42:53
机译: 为半导体模块中的n沟道和p沟道场效应晶体管产生浅沟槽隔离的方法
机译: 为半导体模块中的n沟道和p沟道场效应晶体管产生浅沟槽隔离的方法
机译: 为半导体模块中的n沟道和p沟道场效应晶体管产生浅沟槽隔离的方法