公开/公告号CN108351209B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-27
原文格式PDF
申请/专利权人 安德鲁泰克有限公司;
申请/专利号CN201680065201.7
发明设计人 M·埃斯林;
申请日2016-09-13
分类号G01C15/00(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人陈炜;唐杰敏
地址 德国瓦尔德菲施巴赫布格阿尔本
入库时间 2022-08-23 11:42:21
机译: 真空室中的位置检测器,该位置检测器包括用于基板的定向运输的装置,该位置检测器包括与至少一个发射器和至少一个接收器相邻的载体,并且该发射器和接收器安装在该载体上
机译: 用于测量应用的激光束位置检测器-具有分束器,反射镜参考光束折叠和位置敏感传感器
机译: 三角测量确定物体的位置-使用带有两个或多个位置敏感表面的正确的源和位置敏感检测器